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功率二極管器件

1009   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 09:37:13
一種功率二極管器件，涉及半導體器件技術領域。該功率二極管器件包括襯底、設于襯底上且包括有源區和終端區的碳化硅外延層、設于有源區上的肖特基金屬層、設于肖特基金屬層上的正面金屬層、設置于終端區上且與肖特基金屬層鄰接的鈍化層，和覆蓋鈍化層和正面金屬層的保護層，保護層上開設有露出正面金屬層的窗口；還包括依次形成于襯底背面的歐姆金屬層和背面金屬層；鈍化層的厚度小于或等于0.1μm，且鈍化層包括覆蓋終端區的第一部、覆蓋正面金屬層的上表面周緣的第三部，和連接于第一部和第三部之間且包覆正面金屬層側壁的第二部。該器件能夠有效解決器件在經過TCT測試后，器件鈍化層發生開裂而引起器件可靠性降低，甚至失效的問題。
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