合肥金星智控科技股份有限公司
宣傳

位置：中冶有色 >

有色技術頻道 >

有色金屬技術

礦山技術

冶金技術

材料制備及加工技術

環境保護技術

分析檢測技術

> 分析檢測技術

> 失效分析技術

> 避免反濺射層剝離的SIP系列靶材及其用途

避免反濺射層剝離的SIP系列靶材及其用途

1062   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 09:20:08
本發明涉及一種避免反濺射層剝離的SIP系列靶材及其用途。所述SIP系列靶材包括陰極金屬，所述陰極金屬邊緣的倒角半徑R≥4mm。針對現有技術中，常規的SIP系列靶材，陰極金屬與反濺射層間的界面設計并不能很好地緩解因熱膨脹系數差異而產生的界面應力不匹配和應力集中問題，存在反濺射層剝落的風險；且反濺射層剝落會產生異常物理尖端，從而引發尖端放電，導致后續芯片的電性測試失效及硅片報廢的問題。本發明所述SIP系列靶材能夠有效地緩解陰極金屬與反濺射層間的應力不匹配和應力集中情形，能夠避免反濺射層剝離和等離子體尖端放電的問題。
登錄解鎖全文
聲明：
“避免反濺射層剝離的SIP系列靶材及其用途” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
分享 0
         
舉報 0
收藏 0
反對 0
點贊 0
標簽：
失效分析
上一個：輔助定位方法、裝置、機器人及計算機可讀存儲介質
下一個：具有多雜網絡結構的力致響應性聚合物

與 “避免反濺射層剝離的SIP系列靶材及其用途” 相關技術

? 超聲波輔助粉末冶金成型裝置
? 冶金物料用滾筒烘干機的支撐傳動裝置
? 螢石粉制球用壓球機
? 粉末冶金設備及用于VVT系統中殼體鏈輪的制造方法
? 礦山開采用地質鑿孔設備
? 礦山固廢膠結充填料混料裝置
? 礦山設備運行安全態勢評估方法及系統
? 多地形鉆孔劈裂一體機
? 鑿巖臺車的鉆臂折疊機構
? 用于礦山設備輪軸拆裝的液壓維修設備

相關失效分析設備推薦

碳硫分析儀
H-SDD400在線式激光全濕態SO3酸霧濃度分析儀
數顯量薄膜測厚儀
瓦斯解析儀報價 多氣體檢測儀
軸承環類程控熒光磁粉檢測線
全國熱門有色金屬技術推薦
江蘇通用技術 北京礦山技術 江蘇冶金技術 北京冶金技術 江蘇材料制備及加工技術 常州材料制備及加工技術 江蘇新能源材料技術 江蘇加工技術 北京材料制備及加工技術 福建材料制備及加工技術 江蘇環境保護技術 江蘇廢水處理技術 江蘇固/危廢處置技術 北京環境保護技術 北京廢水處理技術
展開更多 +

 

中冶有色技術平臺

最新更新技術

?超聲波輔助粉末冶金成型裝置
?冶金物料用滾筒烘干機的支撐傳動裝置
?螢石粉制球用壓球機
?粉末冶金設備及用于VVT系統中殼體鏈輪的制造方法
?礦山開采用地質鑿孔設備
?礦山固廢膠結充填料混料裝置
?礦山設備運行安全態勢評估方法及系統
?多地形鉆孔劈裂一體機
?鑿巖臺車的鉆臂折疊機構
?用于礦山設備輪軸拆裝的液壓維修設備

報名參會
更多+

第二屆全國鹽湖資源綜合利用與綠色發展創新論壇
第二屆全國鹽湖資源綜合利用與綠色發展創新論壇
2025年07月09日 ~ 11日
第二屆關鍵金屬選冶與高純制程技術交流會
第二屆關鍵金屬選冶與高純制程技術交流會
2025年07月11日 ~ 13日
2025全國有色金屬材料加工與成形技術交流大會
2025全國有色金屬材料加工與成形技術交流大會
2025年07月16日 ~ 18日
2025全國煤化工科技創新與產業綠色發展論壇
2025全國煤化工科技創新與產業綠色發展論壇
2025年07月16日 ~ 18日
2025全國稀有&貴金屬礦冶裝備論壇
2025全國稀有&貴金屬礦冶裝備論壇
2025年07月17日 ~ 19日

報告下載

1 礦產品能力驗證計劃中樣品的選取
下載:138
2 取、制樣安全淺析
下載:130
3 取、制樣現狀及未來規劃/需求
下載:106
4 自動化樣品制備助力準確高效的礦
下載:97
5 樣品變質引起采制樣和結算問題
下載:94
6 淺談質量檢驗管理風險防控的重點
下載:94
7 礦產品人工取樣方案的制定及案例
下載:92
8 用于X熒光分析的樣品前處理及其
下載:90
9 不均勻樣品給第三方檢測機構和貿
下載:89
10 制樣室裝修設計技巧
下載:88
赤泥綜合利用研究報告2025
推廣

熱門技術
更多+

1防爆閥保護膜
2壓力平衡機構
3水電站的尾水預埋件
4化工礦產有色金屬的檢測機構
5礦石分類與實時定量分析的光譜檢測新方法
6礦石中有色金屬成分和含量的檢測裝置
7有色金屬現貨狀態評估系統及方法
8有色金屬廢料中鐵磁性雜質檢測設備及檢測工藝
9高溫熔體緩冷裝置及渣包測溫方法
10便攜式礦山測量激光儀
衡水宏運壓濾機有限公司
宣傳
環磨科技控股（集團）有限公司
宣傳

發布

在線客服

公眾號

電話

頂部
咨詢電話：
010-88793500-807
專利人/作者信息登記
在线精品视频播放|无码 有码 国产18p|宅男精品一区在线观看|伊人色综合久久天天人手人婷|亚洲熟肥妇女BBXX