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新型氮氧傳感器陶瓷芯片

1123   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 09:20:06
本發明提供一種新型氮氧傳感器陶瓷芯片，涉及傳感器技術領域。該氮氧傳感器陶瓷芯片包括從上至下依次層疊的第一至第六氧化鋯陶瓷層，在第二氧化鋯陶瓷層內設置有主泵腔室、輔泵腔室和測量泵腔室，主泵腔室與氮氧傳感器陶瓷芯片外部之間通過第一擴散通道連通，主泵腔室與輔泵腔室通過第二擴散通道連通，輔泵腔室與測量泵腔室之間通過第三擴散通道連通，第一擴散通道、第二擴散通道以及第三擴散通道均為孔式進氣擴散通道結構。通過采用孔式進氣擴散通道結構，有效防止克努森擴散、積碳堵塞以及進氣通道微開裂引起的傳感器失效問題，降低了氮氧傳感器陶瓷芯片劣化的風險，大大提升了氮氧傳感器陶瓷芯片生產廠家產品合格率。
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聲明：
“新型氮氧傳感器陶瓷芯片” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
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