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插入冗余通孔的方法

1306   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 09:05:33
本申請提供了一種芯片的版圖中插入冗余通孔的方法，所述方法包括：提供待加工芯片的計算機模擬版圖，版圖具有多個通孔；在版圖中的多個通孔周圍插入多個冗余通孔；對插入多個所述冗余通孔后的版圖進行檢查，區分為合格冗余通孔和缺陷冗余通孔；對缺陷冗余通孔中的至少一部分缺陷冗余通孔進行修正；以及基于修正后的版圖形成芯片的最終模擬版圖。根據本申請實施方式的芯片的版圖中插入冗余通孔的方法，通過對插入的部分缺陷冗余通孔進行修正，可在芯片版圖上在不違反涉及規則和電連接的情況下，提高插入的冗余通孔的數量，進一步降低了通孔失效對芯片良率的影響。
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聲明：
“插入冗余通孔的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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