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刻蝕控制方法以及半導體制造工藝控制方法

1244   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 09:05:32
本發明提供了刻蝕控制方法以及半導體制造工藝控制方法。根據本發明的刻蝕控制方法包括：在發生傳送模塊氣壓偏移時發出傳送模塊氣壓警告；利用設備自動化系統實時檢查傳送模塊氣壓警告記錄，確定是否有傳送模塊氣壓警告；在存在傳送模塊氣壓警告的情況下，設備自動化系統立刻給機臺發出停止運行的命令，蝕刻機臺收到命令后，蝕刻設備自動停止裝貨卸貨腔運行工藝流程，并且使有缺陷的晶圓停止反應；繼續處理有缺陷的晶圓。通過采用本發明的技術方案，與現有技術相比，能夠在傳送模塊氣壓偏移發生時盡量避免晶圓報廢以及器件失效。
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“刻蝕控制方法以及半導體制造工藝控制方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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