本發明公開了一種光敏膠微凝裝置及方法,包括光敏膠容器、控制模塊、設于所述光敏膠容器上且與所述控制模塊連接的監測模塊、抽排模塊和加壓模塊。通過控制模塊控制監測模塊中的加熱模塊和抽排模塊進行加熱和抽排,使光敏膠中的溶劑揮發和排出,并通過監測模塊中的粘度監測模塊進行實時監測以達到指定粘度,實現了利用特定初始粘度的光敏膠獲得相對較大的厚度范圍,通過本裝置處理后的光敏膠只需要進行一次旋涂,使用少量的光敏膠即可實現目標膜厚,提高了旋涂的產率,減少了光敏膠的用量;同時,有效防止多次旋涂的某一層旋涂異常導致的失效,避免了多次旋涂之間點膠時產生氣泡,提高了點膠的成型效率和質量,降低了生產成本。
聲明:
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