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具有診斷電路的真空系統以及用于監視這種真空系統的健康的方法和計算機程序

803   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 09:02:35
一種真空系統，具有診斷電路以及用于監視這種真空系統的健康的方法和計算機程序，所述真空系統包括：至少一個低溫泵；與低溫泵相關聯的傳感器，每個傳感器被配置成感測低溫泵的操作條件；以及診斷電路，其被配置成接收從傳感器采樣的信號。診斷電路包括低溫泵的診斷模型，診斷模型是從多個再生和服務時間時段上操作的相同類型的多個低溫泵的歷史數據導出的并且被配置成將來自至少一些傳感器的采樣信號的值與預定時間內的泵失效的概率相關。診斷電路被配置成將采樣信號應用于診斷模型并從模型的輸出確定預定時間內的至少一個低溫泵失效的概率。
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