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MEMS傳感器在應用環境下使用可靠度的確定方法

1229   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 09:02:34
本發明涉及MEMS傳感器,具體是一種MEMS傳感器在應用環境下使用可靠度的確定方法。確定了MEMS傳感器在應用環境下的可靠性指標,步驟如下:1)、測定MEMS傳感器能正常工作的溫度、振動、沖擊三參數的極限應力;2)、統計推斷與MEMS傳感器溫度、振動、沖擊三參數極限應力對應的分布函數;3)、統計推斷與具體應用環境溫度、振動、沖擊三參數應力變化對應的分布函數;4)、確定具體應用環境中溫度、振動、沖擊三參數應力變化分別能引起MEMS傳感器失效的概率;5)、確定具體應用環境中MEMS傳感器的使用可靠度。以MEMS傳感器在具體應用環境中正常工作的總概率P(X)作為MEMS傳感器的可靠性指標,將MEMS傳感器的可靠性進行量化標定,表明了MEMS傳感器在應用環境下的使用可靠度。
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