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互連線電遷移壽命的確定方法

1135   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 09:01:44
本發明提供互連線電遷移壽命的確定方法,包括:選擇至少三種不同線寬的互連線,所述至少三種不同線寬的互連線均在同一確定工藝條件下形成;測試每種線寬互連線不同結構的失效時間,利用統計分布得到每種線寬互連線相應的平均失效時間;根據black方程,得到確定溫度、確定電流密度時,每種線寬互連線的歸一化壽命;利用二次多項式,擬合得到互連線歸一化壽命與線寬的二次函數關系式;通過所述二次函數關系式對應的曲線,得到最壞情況下的電遷移壽命,從而得到該最壞情況下的電遷移壽命對應的線寬。采用此發明方法可以精確評估該互連線最壞情況下的電遷移壽命,并為開發金屬工藝提供重要信息。
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聲明：
“互連線電遷移壽命的確定方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
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