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用于快速定位三維存儲器陣列區短路的方法

967   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 09:01:44
本發明提供了一種用于快速定位三維存儲器陣列區短路的方法，包括：將待測試樣品處理到鎢栓塞層；使用聚焦離子束機臺對處理之后的待測試樣品的失效區塊進行標記；通過納米點針臺給臺階區鎢栓塞施加一定的電壓，找出陣列區字線層與字線層之間的或字線層與源極之間的失效路徑；使用聚焦離子束機臺，在失效的字線層對應的臺階區鎢栓塞處引出線路，然后在線路的末端沉積金屬墊體；通過微光顯微鏡給金屬墊體施加一定的電壓，從而突出失效處的熱點信號；在失效點處標記激光標記；使用聚焦離子束機臺在激光標記處進行剖面切削，同時觀察失效點，制備透射電子顯微鏡試片；以及使用透射電子顯微鏡對試片進行表征。本發明的方法能夠快速實現對字線層短路點的定位和表征。
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“用于快速定位三維存儲器陣列區短路的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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