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MEMS可靠性評估方法

1289   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 09:01:43
本發明涉及一種MEMS可靠性評估方法，上述MEMS可靠性評估方法，包括如下步驟：獲取MEMS的懸臂梁失效率、芯片失效率以及封裝失效率；對MEMS內的元器件進行測量，獲取所述MEMS的振動系數、溫度系數、溫度幅值系數、循環率系數；根據所述懸臂梁失效率、芯片失效率、封裝失效率、振動系數、溫度系數、溫度幅值系數、循環率系數代入設定的評估模型獲取MEMS的可靠性。本發明提供的MEMS可靠性評估方法，通過獲取MEMS的懸臂梁失效率、芯片失效率以及封裝失效率；并對MEMS內的元器件進行測量，獲取所述MEMS的振動系數、溫度系數、溫度幅值系數、循環率系數，進一步評估MEMS的可靠性，使MEMS可靠性的評估無需經過通過大量試驗，可以有效提高評估的效率。
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“MEMS可靠性評估方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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