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確定連通存儲元件中的接觸塞的缺陷的方法

1293   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 09:01:41
本發明提供一種確定連通存儲元件中的接觸塞的缺陷的方法，包括：預處理存儲元件，露出作為位線的受控金屬層，包括失效的第一位線和第二位線；將存儲元件按側面朝上即第一位線處于第二位線上方的方式置于研磨臺，實施研磨直至露出第一位線；沉積介電層，覆蓋存儲元件的頂面部分及其露出第一位線的側面部分；在介電層中形成通孔，露出第一位線的部分側面或者頂端電連接第一位線的多個接觸塞中的任意一個的部分側面；在通孔中形成金屬接觸；將存儲元件按另一側面朝上即第二位線處于第一位線上方的方式置于研磨臺，實施研磨直至露出第二位線；去除第二位線；確定缺陷的位置。根據本發明，檢測前的預處理過程更為簡單，不會破壞所述缺陷。
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聲明：
“確定連通存儲元件中的接觸塞的缺陷的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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