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平面透射電鏡樣品的制備方法

1009   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 09:01:23
本發明提供了一種平面透射電鏡樣品的制備方法，包括：制備SELA加工所需的第一樣品，所述第一樣品上設有目標區域；使用SELA對所述第一樣品進行裂片，形成包括所述目標區域的第二樣品；將所述第二樣品切割和減薄形成TEM樣品。本發明的技術方案成本較低，簡便易行，大大提高了制備平面TEM樣品的速度和準確性，對失效分析工作有極大的幫助。
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聲明：
“平面透射電鏡樣品的制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
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