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超精密模具異物殘留清洗裝置和使用方法

929   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 09:01:10
本發明公開了一種超精密模具異物殘留清洗裝置和使用方法，旨在解決現有的對增光膜模具清洗方式或導致模具失效或存在高成本的不足。該發明包括與模具偏置的激光發射器和探測元件，根據探測元件的探測結果激光發射器運動以對準異物殘留，激光發射器具有預設配置使激光發射器產生的激光在不損傷模具的前提下剝離異物殘留。激光照射的方式為非接觸式，杜絕了傷害模具的可能，延長了模具的壽命，在線清潔和隨檢隨清的方式節省了裝卸時間，加快了生產節拍，在異物產生的第一時間即進行清洗，可以保證產品不受到模具上的異物的影響，提高產品的良率。
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