合肥金星智控科技股份有限公司
宣傳

位置：中冶有色 >

有色技術頻道 >

有色金屬技術

礦山技術

冶金技術

材料制備及加工技術

環境保護技術

分析檢測技術

> 分析檢測技術

> 失效分析技術

> 對半導體制造中的晶圓進行監控的方法和掩膜版

對半導體制造中的晶圓進行監控的方法和掩膜版

956   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 09:00:54
本發明提供一種對半導體制造中的晶圓進行監控的方法和掩膜版。所述方法包括：獲取待監控的半導體工藝及其設計規則；根據所述設計規則設計監控圖形，所述監控圖形包括產品晶圓上對應于所述半導體工藝的關鍵圖形；制作所述產品晶圓的掩膜版，其中，在制作所述掩膜版的過程中將所述監控圖形導入所述產品晶圓的所述掩膜版的切割道區域；制造所述產品晶圓并在制造所述產品晶圓的過程中進行所述產品晶圓的失效分析。根據本發明，使后續制造的產品晶圓中同時得到各種不同監控工藝的監控圖形結構，工作量低、分析效率高；針對同一種工藝，在不同產品上實現監控圖形的整體形貌的監控，避免監控產品更改所帶來的影響，數據規范統一，可實現工藝長期監控。
登錄解鎖全文
聲明：
“對半導體制造中的晶圓進行監控的方法和掩膜版” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
分享 0
         
舉報 0
收藏 0
反對 0
點贊 0
標簽：
失效分析
上一個：無損去除鋼鐵表面防護涂層的清洗方法及應用
下一個：能消除汽車鋁合金車輪大尺寸熱節點的方法及裝置

與 “對半導體制造中的晶圓進行監控的方法和掩膜版” 相關技術

? 鋁型材模具慢走絲變錐加工工藝
? 新能源汽車零部件生產用切割裝置
? 高精密度的三維五軸激光切割機床
? 電火花切割機床及其使用方法
? 多功能激光雕刻機
? 可調節式金屬加工用激光切割機
? 金屬加工用銑磨機床以及黃金飾品的表面加工方法
? 金屬加工用切削液及其制備方法
? 金屬加工焊接裝置
? 機械金屬加工用無切削沖壓裝置

相關失效分析設備推薦

無線土壤墑情檢測系統 土壤監測儀
高溫扭轉疲勞試驗機
便攜式X射線探傷機
增壓器配件X射線檢測
便攜式油煙快速檢測儀
全國熱門有色金屬技術推薦
江蘇通用技術 北京礦山技術 江蘇冶金技術 北京冶金技術 江蘇材料制備及加工技術 常州材料制備及加工技術 江蘇新能源材料技術 江蘇加工技術 北京材料制備及加工技術 福建材料制備及加工技術 江蘇環境保護技術 江蘇廢水處理技術 江蘇固/危廢處置技術 北京環境保護技術 北京廢水處理技術
展開更多 +

 

中冶有色技術平臺

最新更新技術

?鋁型材模具慢走絲變錐加工工藝
?新能源汽車零部件生產用切割裝置
?高精密度的三維五軸激光切割機床
?電火花切割機床及其使用方法
?多功能激光雕刻機
?可調節式金屬加工用激光切割機
?金屬加工用銑磨機床以及黃金飾品的表面加工方法
?金屬加工用切削液及其制備方法
?金屬加工焊接裝置
?機械金屬加工用無切削沖壓裝置

報名參會
更多+

第二屆關鍵金屬選冶與高純制程技術交流會
第二屆關鍵金屬選冶與高純制程技術交流會
2025年07月11日 ~ 13日
2025全國有色金屬材料加工與成形技術交流大會
2025全國有色金屬材料加工與成形技術交流大會
2025年07月16日 ~ 18日
2025全國煤化工科技創新與產業綠色發展論壇
2025全國煤化工科技創新與產業綠色發展論壇
2025年07月16日 ~ 18日
第二屆全國海洋工程及船舶材料技術交流會
第二屆全國海洋工程及船舶材料技術交流會
2025年07月18日 ~ 20日
第七屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流會
第七屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流會
2025年07月23日 ~ 26日

報告下載

1 礦產品能力驗證計劃中樣品的選取
下載:139
2 取、制樣安全淺析
下載:131
3 取、制樣現狀及未來規劃/需求
下載:108
4 自動化樣品制備助力準確高效的礦
下載:99
5 樣品變質引起采制樣和結算問題
下載:96
6 淺談質量檢驗管理風險防控的重點
下載:95
7 礦產品人工取樣方案的制定及案例
下載:93
8 用于X熒光分析的樣品前處理及其
下載:91
9 不均勻樣品給第三方檢測機構和貿
下載:90
10 非常規礦產品取制樣方法的探討
下載:89
赤泥綜合利用研究報告2025
推廣

熱門技術
更多+

1防爆閥保護膜
2壓力平衡機構
3水電站的尾水預埋件
4化工礦產有色金屬的檢測機構
5礦石分類與實時定量分析的光譜檢測新方法
6礦石中有色金屬成分和含量的檢測裝置
7有色金屬現貨狀態評估系統及方法
8有色金屬廢料中鐵磁性雜質檢測設備及檢測工藝
9高溫熔體緩冷裝置及渣包測溫方法
10便攜式礦山測量激光儀
衡水宏運壓濾機有限公司
宣傳
環磨科技控股（集團）有限公司
宣傳

發布

在線客服

公眾號

電話

頂部
咨詢電話：
010-88793500-807
專利人/作者信息登記
在线精品视频播放|无码 有码 国产18p|宅男精品一区在线观看|伊人色综合久久天天人手人婷|亚洲熟肥妇女BBXX