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用于晶圓外延處理的自動化設備及其操作方法

772   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 09:00:49
本發明涉及一種用于晶圓外延處理的自動化設備及其操作方法，包括外輪廓檢測臺、晶圓反應臺和第一機械手，所述的外輪廓檢測臺右側安裝有晶圓反應臺，晶圓反應臺上端轉動安裝有轉臺，所述的外輪廓檢測臺上轉動安裝有與轉臺對應的第二機械手，所述的外輪廓檢測臺和晶圓反應臺的上端安裝有密封罩，所述的密封罩左端安裝有與密封罩連通的置換腔平臺。本發明有效降低晶圓的膜厚和電阻率波動、解決晶圓因在支撐器上位置偏差過大導致產品失效等問題。
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