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樣品去層次方法

1080   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 09:00:44
本發明涉及一種樣品去層次方法，用于半導體芯片的失效分析，包括以下步驟：步驟S1、所述半導體芯片具有一目標區域；步驟S2、研磨所述半導體芯片，并停止于位于所述層間介質層上表面的所述金屬層；步驟S3、形成一保護膜層，所述保護膜層覆蓋所述目標區域的正上方的所述金屬層的上表面；步驟S4、繼續研磨所述半導體芯片，去除位于所述保護膜層下方的所述金屬層之外的所述金屬層；步驟S5、去除所述保護膜層；步驟S6、去除所述金屬層；步驟S7、去除所述半導體襯底上表面的其余物質，露出所述半導體襯底。其優點在于，設置一層保護膜層，避免出現化學試劑與金屬層反應，保障半導體襯底不被損傷以及污染；有效提高失效分析的準確性，提高工作效率。
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聲明：
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