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過濾裝置

764   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 09:00:43
本實用新型涉及半導體制造技術領域，尤其涉及一種過濾裝置。所述過濾裝置包括輸入管道、輸出管道以及設置于所述輸入管道與所述輸出管道之間的過濾器，還包括檢測組件；所述檢測組件包括均設置于所述過濾器與所述輸出管道之間的第一閥門和第二閥門；所述第二閥門用于對經所述過濾器過濾的清洗液進行取樣，以判斷所述過濾器是否失效；所述第一閥門用于在確認所述過濾器失效后隔絕所述過濾器與所述輸出管道。本實用新型實現了對過濾裝置中失效過濾器的有效檢出，并降低了對所述過濾裝置的維護成本。
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“過濾裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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