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氣敏元件強制換氣冷熱泵微加工制造方法

789   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 09:00:41
本發明提供的是一種氣敏元件強制換氣冷熱泵微加工制造方法,它涉及到氣敏元件的制造方法。本發明解決了敏感元件周圍易產生耗盡區域的問題,提高了氣敏元件的線性度和使用性能,延長了氣敏元件的標校期。本發明的制造方法由以下工步組成:沉積鋁膜-復制冷熱泵圖形-三氧化二鋁(Al2O3)膜片制作-熱處理-金屬化-粘接固定。用本發明方法制造出的氣敏元件可以迫使元件的內部檢測后的廢氣體與外界需檢測的新氣體強制換氣,在氣敏元件的氣室內形成氣體交換環流,保障了氣敏元件檢測的真實性和可靠性;同時,降低了敏感元件的結碳失效率,有助于檢測監控裝備的選擇和應用。
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“氣敏元件強制換氣冷熱泵微加工制造方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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