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用于叉指狀柵GOI結構漏電點精確定位的方法

1010   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 09:00:39
本發明提供一種叉指狀柵GOI結構失效點定位方法，包括：提供集成電路芯片樣品；逐層剝離集成電路各層直至暴露出源極/漏極接觸頂部；刻蝕去除源極/漏極接觸中的導電材料；采用電壓襯度分析法，利用聚焦離子束(FIB)切割的方法，逐步定位柵極氧化層的失效點。通過去除源極/漏極接觸中的導電金屬，有效規避了FIB切割時源極/漏極接觸(S/D?CT)對電壓襯度的干擾，進而實現柵極氧化層的漏電點(失效點)的精確定位，提高柵極氧化層可靠性失效分析的成功率。
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“用于叉指狀柵GOI結構漏電點精確定位的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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