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掃描電鏡樣品的保存方法

939   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 09:00:39
本發明涉及半導體工藝技術領域，本發明提供了一種掃描電鏡樣品的保存方法，首先提供樣品，并將樣品放入SEM設備中進行失效分析，接著在分析后的樣品表面涂覆用于隔絕空氣的保護層，然后將樣品放置在大氣環境中進行保存，當需要對樣品再次進行失效分析時，去除樣品表面的保護層，最后將樣品放入SEM設備中進行失效分析。本發明提供了一種可靠易行，成本較低的掃描電鏡樣品的保存方法，解決了現有技術在失效分析過程中，SEM樣品表面容易受損或氧化的問題，本領域技術人員采用該方法可提高失效分析的成功率，并降低失效分析的成本。
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聲明：
“掃描電鏡樣品的保存方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
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失效分析
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