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定位半導體芯片長距離金屬線間缺陷的方法

1059   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 09:00:38
本發明公開了一種定位半導體芯片長距離金屬線間缺陷的方法，包括步驟：1)對芯片進行研磨剝層處理，暴露待分析金屬線的至少端頭部分；2)在待分析金屬線的端頭附近，且與金屬線沒有交接的區域，墊積出與各條待分析金屬線對應的金屬墊；3)在待分析金屬線的端頭和對應的金屬墊之間，墊積出用于連接端頭和金屬墊的金屬條；4)在金屬墊上扎針，進行光致阻抗變化測試，定出缺陷在金屬線上的具體位置。該方法通過結合使用一系列的失效分析技術，實現了對特定長距離金屬線間缺陷的更快速、準確和有效的定位。
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聲明：
“定位半導體芯片長距離金屬線間缺陷的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
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