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晶圓數據的處理方法、裝置、電子裝置和存儲介質

897   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 09:00:36
本申請涉及一種晶圓數據的處理方法、裝置、電子裝置和存儲介質，其中，該晶圓數據的處理方法包括：獲取目標晶圓的晶圓圖，所述晶圓圖被劃分為多個裸片區域；分別確定所述目標晶圓中各個裸片對應的電性失效類型以及至少一種缺陷類型；分別在所述晶圓圖中的多個裸片區域中設置與所述電性失效類型相匹配的標識信息以及與所述至少一種缺陷類型相匹配的標識信息。通過本申請，解決了晶圓數據的價值無法被用戶所用的技術問題，用戶可以直接根據晶圓數據確定裸片的電性失效數據與缺陷數據之間的關聯，進一步直觀地確定導致裸片電性失效的缺陷原因，提高了用戶基于檢測結果對晶圓良率進行分析的速度和便利性。
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