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金屬一氧化鋁一硅結構濕度傳感器及其制備工藝

939   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 09:00:36
本發明是Si—MOS結構Al2O3濕度傳感器，屬 于指示環境濕度的元器件。它是在低阻Si襯底上通 過Al蒸發和陽極氧化及熱處理制備一層穩定的多 孔α—Al2O3，從而使Al2O3濕度傳感器改善或克服 了長期漂移問題，并能同時測量絕對濕度和相對濕 度。本發明的濕度傳感器測濕范圍寬、靈敏度高、重 復性和穩定性好，可廣泛用于工業過程控制、環境濕 度檢測、各種高純氣體水含量分析、氣密封裝電子器 件殘留水分監測及電子器件的可靠性和失效機理研 究等。
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