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用于測試分辨率的熒光納米標準板的制備方法

867   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 09:00:35
本案涉及用于測試分辨率的熒光納米標準板的制備方法，包括：1)將基底層浸入硅烷化試劑中進行硅烷化處理，在基底層表面形成硅烷層；2)將硅烷層浸入熒光染料溶液中進行熒光染料修飾，在硅烷層表面形成熒光染料層；3)采用電子束光刻法對熒光染料層進行等間距曝光，使得未被曝光的部分形成等間距排列的熒光染料線條，而被曝光部分的熒光染料失效，形成惰性層；4)在熒光染料線條和惰性層的表面旋涂透明保護層。本案的制備工藝簡單，反應條件溫和無污染，工藝重現性好；通過精確調整熒光納米標準板的結構尺寸，實現熒光線條結構的整齊排列，直觀地反應出系統的分辨能力；同時，這種結構的標準板能夠實現批量制作，穩定性高，分辨率高。
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