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接觸墊、平板圖像探測器及其制作方法

1156   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 09:00:35
一種接觸墊、平板圖像探測器及其制作方法，所述接觸墊括：設置在襯底上方的底層導電結構；設置在襯底及底層導電結構上方的絕緣層，絕緣層中設置有暴露部分底層導電結構上表面的頂部過孔；設置在絕緣層上方且覆蓋在頂部過孔底部及側壁上的中間導電層；設置在中間導電層上方、并與中間導電層接觸的表層導電層。通過在接觸墊中增設中間導電層，解決了接觸墊中異方性導電膜的有效壓合位置到頂部過孔底部之間的導電層具有較大電阻，及接觸墊中表層導電層容易斷裂導致接觸墊失效概率大的問題。
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