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實時監測多晶硅沉積工藝過程氧氣濃度的裝置

1140   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 09:00:34
本發明公開了一種實時監測多晶硅沉積工藝過程氧氣濃度的裝置，適用于爐管工藝多晶硅沉積機臺，所述爐管工藝多晶硅沉積機臺包括反應爐管、與所述反應爐管相連接的氣體外出管路以及泵，其中，所述氣體外出管路上設有支聯裝置，所述支聯裝置內設有氧氣敏感器。本發明能夠在第一時間有效地監測爐管機臺反應爐管內部氧氣濃度的變化情況，避免因反應爐管微漏氣造成的晶圓器件失效而導致的報廢。通過使用本發明能夠節省機臺維護保養復機時間約2h，提升機臺產能，直接反應機臺狀況。
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聲明：
“實時監測多晶硅沉積工藝過程氧氣濃度的裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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