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紅外焦平面芯片及其制備方法、紅外焦平面探測器

716   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 09:00:33
本發明提供了一種紅外焦平面芯片，包括襯底、紅外敏感層、于襯底上設置的讀出電路以及連接紅外敏感層的互連金屬，于紅外敏感層的n型區設抗反膜，紅外敏感層的p型區具有不透紅外光的金屬層，金屬層通過引線與公共電極地連接。還提供一種紅外焦平面探測器。還提供一種紅外焦平面芯片的制備方法。本發明可降低中心像素和邊緣像素Gpol工作點之間的電壓偏差，進而提高了探測器邊緣像素的成像質量。另外采用p型區生長等電位的金屬，實現相同的等電位功效，避免了正面等電位加工工藝受限于平面結的局限性，和小像元芯片加工時等電位金屬和像元間短路而失效的風險，可實現光增強電信號，減小光串音的效果，避免擋光而降低探測器靈敏度。
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