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非制冷紅外探測器的多像素封裝結構

1076   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 09:00:23
本實用新型涉及一種非制冷紅外探測器的多像素封裝結構，包括襯底，所述襯底上形成有多個真空封裝單元，每個所述真空封裝單元包括形成于所述襯底上的真空微腔體以及封裝于該真空微腔體中的多個像素單元，各所述真空封裝單元在所述襯底上陣列布置。本實用新型提供的非制冷紅外探測器的多像素封裝結構，將各像素單元封裝在多個真空微腔體內，各真空微腔體相互獨立、互不影響，能避免非制冷紅外探測器容易真空封裝失效而導致探測器整體無法正常工作的技術問題；同時，由于每個真空微腔體內封裝有多個像素單元，能在像素級封裝的基礎上有效地減小非制冷紅外探測器的面陣面積，尤其適用于大面陣非制冷紅外探測器的封裝。
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