本實用新型涉及真空測量裝置及深冷液體儲運系統,包括:組合真空規管、真空閥、過渡接頭及真空測量儀,組合真空規管內部設置有熱偶規及熱陰極電離規;真空閥的一端與組合真空規管密封連接,另一端與過渡接頭的一端密封連接;過渡接頭的另一端伸入待測設備的真空腔室,并與待測設備密封固定,使真空腔室與真空閥及組合真空規管能形成通路;真空測量儀與組合真空規管連通,并與熱偶規及熱陰極電離規電性連接。該深冷液體儲運系統包括真空測量裝置及深冷液體儲運設備,過渡接頭的另一端伸入深冷液體儲運設備的真空腔室,能進行高真空度區段的測量,能對深冷液體儲運設備的真空度進行全程測量及真空失效預判。
聲明:
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我是此專利(論文)的發明人(作者)