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互連線電遷移的測試裝置及方法

884   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 09:00:22
一種互連線電遷移的測試裝置，包括互連線測試結構和加熱金屬線，所述加熱金屬線環繞互連線測試結構，所述互連線測試結構與測試電源連接，所述加熱金屬線的兩端與加熱電源連接；本發明還提供了一種互連線電遷移的測試方法。本發明互連線電遷移測試裝置和測試方法，能夠精確確定互連線電遷移測試裝置中待測互連線的激活能和電流密度指數，進而精確確定待測互連線的失效時間，提高了互連線電遷移評價的準確性。
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