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陶瓷基板通孔微電阻測試方法

1171   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 09:00:22
本發明公開了一種陶瓷基板通孔微電阻測試方法，在陶瓷基板上制備不同孔徑的孔洞，采用金屬蒸發或電鍍工藝實現對孔洞的填充，隨后在陶瓷基板上下面進行金屬互連，采用多探針方式，經過測量、計算，最終得到通孔面電阻率值，隨后面電阻率值乘以不同面積得到不同通孔的電阻值，實現快速測試陶瓷基板通孔材料的導通電阻，衡量通孔填充的致密度和質量，并對測試的電阻值進行擬合，實現對多種通孔尺寸的電阻測試，有效簡化測試工序，提升測試效率和精度，從而減少器件失效的可能，并且能適用于大尺寸通孔的電阻測試，如大通孔緊湊型功率器件垂直封裝基板的性能測試，不局限于集成電路領域，包含大功率陶瓷基板功率器件，適用范圍廣。
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聲明：
“陶瓷基板通孔微電阻測試方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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