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3D存儲器件的測試樣品制備方法

839   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 09:00:20
本申請公開了一種3D存儲器件的測試樣品制備方法，包括：在所述3D存儲器件中確定取樣區域；按照所述取樣區域從所述3D存儲器件切割出狹長的薄片；將所述薄片轉移并固定至基板上；以及將所述薄片減薄至預定厚度以獲得測試樣品，所述薄片轉移的過程中，其頂端與聚焦離子束系統的執行器粘接，與所述頂面相對的底部接口與基板接觸。該測試樣品制備方法可以獲得用于電子顯微鏡觀察的狹長形狀的測試樣品，通過確定狹長結構的失效位置以及估計失效原因來提高3D存儲器件的良率。
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聲明：
“3D存儲器件的測試樣品制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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