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接觸式MEMS開關壽命測試的方法和儀器

1042   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 09:00:20
一種接觸式MEMS開關壽命測試的方法和儀器,屬接觸式MEMS開關器件測試技術領域,該方法利用連續方波脈沖信號驅動被測接觸式MEMS開關的上、下電極,在該開關正常,即第一、二接觸點間有開關動作時,計數器計數連續方波脈沖信號的脈沖個數,直至該開關疲勞失效,即第一、二接觸點間無開關動作時,計數器停止計數,顯示器顯示的數字就是該被測開關的壽命指標,該儀器由方波發生器10、脈沖幅度轉換器20、測試架30、開關動作監視器40、二輸入端與門50、七位十進計數器及顯示器60、指示器70和電源80組成,有線路抗干擾性能好,結構簡單,元器件通用,測試效率高,每測試一個開關,時間僅為2～3min等優點,本發明特別適于用來測試接觸式MEMS開關的壽命。
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