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3D NAND存儲器位線的電阻測試方法

819   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 09:00:20
一種3D?NAND存儲器位線的電阻測試方法，包括：提供失效晶圓，所述失效晶圓包括襯底和位于襯底正面上的3D?NAND存儲器，所述3D?NAND存儲器包括若干位線和與每個位線相應連接的若干金屬插塞；選取多根位線作為目標位線，將多根目標位線通過金屬線路連接；從襯底的背面平坦化所述襯底，直至暴露所述與目標位線連接的金屬插塞；對目標位線所對應的金屬插塞進行測試，獲得目標位線的電阻值。本發明的測試方法可以減小3D?NAND存儲器位線電阻的測試難度，并且能保證測試的精度。
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