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恒溫電遷移測試中的電流加速因子評估方法

823   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 09:00:20
本發明提供了一種恒溫電遷移測試中的電流加速因子評估方法，包括：第一步驟：確定一組測試溫度和載臺溫度，以得出金屬測試結構的經待測金屬線的電流；第二步驟：固定測試溫度，通過載臺溫度調節的方式來改變載臺溫度，得到經待測金屬線的調節后電流；重復第一步驟和第二步驟以得到多組數據，其中每組數據包括電流數據和失效壽命數據；第三步驟：利用所述多組數據，通過金屬壽命布萊克方程，計算出該金屬測試結構的電流加速因子；第四步驟：利用電流加速因子，結合自校準式恒溫電遷移活化能的評估方法，實現在恒溫電遷移測試下的金屬壽命計算。
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