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基于半導體測試參數閾值調整的數據展示方法及裝置

844   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 09:00:19
本申請涉及基于半導體測試參數閾值調整的數據展示方法及裝置，所述方法包括：響應于用戶針對至少一個晶圓所選擇的測試參數及所述測試參數對應的第一閾值范圍，確定所述至少一個晶圓分別在所述測試參數對應的第一閾值范圍內的第一良率數據和/或所述至少一個晶圓分別針對所述測試參數的第一失效數據，所述第一失效數據包括所述至少一個晶圓中由于所述測試參數而失效的裸片的位置；在數據可視化界面中展示所述第一良率數據和/或所述第一失效數據。通過在數據可視化界面中展示用戶所選擇的閾值范圍所對應的良率和/或失效數據，使得用戶清晰、直觀地了解到所選擇的閾值范圍對晶圓良率數據和/或失效數據的影響，進而幫助用戶選擇合適的閾值范圍。
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聲明：
“基于半導體測試參數閾值調整的數據展示方法及裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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