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電遷移測試方法、裝置、設備及存儲介質

1133   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 09:00:19
本發明實施例公開了一種電遷移測試方法、裝置、設備及存儲介質。其中，該方法包括：根據芯片中的待測試鏈路的仿真模型，確定待測試鏈路的標準電阻；根據電遷移仿真測試過程中的多組仿真測試數據確定待測試鏈路的失效時間計算公式；確定與待測試鏈路對應的多組電遷移測試條件；控制電遷移測試系統對與待測試鏈路對應的電遷移測試樣品進行電遷移測試，得到與各組電遷移測試條件對應的測試樣品失效時間；根據各組電遷移測試條件中的預期失效時間與所對應的測試樣品失效時間的比對結果，確定待測試鏈路的電遷移測試結果。本發明實施例可以對芯片中的鏈路進行電遷移測試，確定芯片中各鏈路的整個鏈路結構的電遷移實際情況。
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“電遷移測試方法、裝置、設備及存儲介質” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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