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電遷移加速測試方法

947   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 09:00:18
本發明提供了一種電遷移加速測試方法，包括：獲取能消除測試結構焦耳熱的臨界電流密度；預估測試結構總數；對所述測試結構施加多個低于臨界電流密度的電流進行電遷移加速測試使測試結構加速失效，并得到加速失效時間；當測試結構加速失效數量達到預設值時，停止測試，獲取失效測試結構的加速失效時間對累計加速失效率的分布；根據測試結構的加速失效時間對累計加速失效率的分布計算測試結構的壽命。通過獲取能消除測試結構焦耳熱的電流范圍，再從其中選取多個電流密度對應的電流對測試結構進行電遷移加速測試，避免了電遷移加速測試中焦耳熱的影響，最終使獲取的測試結構的壽命更加準確。
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聲明：
“電遷移加速測試方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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