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晶圓探測數據的處理方法和計算機可讀存儲介質

958   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 09:00:18
本公開提供了一種晶圓探測數據的處理方法和計算機可讀存儲介質，涉及晶片制造技術領域。其中，晶圓探測數據的處理方法包括：確定已完成的晶圓探測過程中產生的新失效位元；獲取新失效位元的修補記錄，以及新失效位元的相鄰位元的修補記錄；解析修補記錄，以確定新失效位元和相鄰位元的屬性信息，屬性信息包括位置信息、備用電路信息、新失效位元的單元圖形和晶圓探測流程中的至少一種；根據屬性信息進行分類學習，以獲取失效位元預測模型；通過失效位元預測模型對待進行晶圓探測的失效位元進行預測。通過本公開的技術方案，提高了預測失效位元的可靠性，有利于提升晶圓產品的成品率。
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