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加速熱載流子注入測試的方法

1180   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 09:00:18
一種加速熱載流子注入測試方法，包括以下步驟：a分別測量不同溫度下的在不同偏置電壓下漏極電流、襯底電流相對時間的曲線；b設定失效條件，將達到該失效條件的時間稱為失效時間；c將失效時間與漏極飽和電流之積和襯底電流與漏極飽和電流之商在坐標上繪出得出它們相互之間的關系式；d.將失效時間與溫度在坐標上繪出得出它們之間相互關系；e.在低溫下進行失效試驗，根據失效時間與溫度的關系推出其他溫度下的失效時間。本發明能夠加快測量時間迅速地獲得預測壽命結果。
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