本發明屬于壓電涂層材料技術領域,具體涉及一種螺栓預緊力測試用帶壓電傳感器智能墊片及其制備方法,包括墊片及依次設置于墊片表面的墊片加硬層、ZnO壓電功能復合層、耐磨導電電極層構成;其中墊片加硬層為CrN陶瓷涂層,ZnO壓電功能復合層由誘導結晶層、ZnO壓電層及保護層構成,耐磨導電電極層為Cr/CrN多層膜構成。本發明首次將傳感器制備于墊片表面,實現在墊片上實現超聲檢測;傳感器采用多層結構,功能上實現使涂層具有比常規壓電涂層更好的硬度、耐磨和韌性;具有抗腐蝕、高耐磨和高韌性的特點,可以保證傳感器長期穩定的在墊片表面工作,減少腐蝕等導致的失效可能性。
聲明:
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