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設有信號反彈模塊的3D-SIC過硅通孔的測試裝置

997   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 09:00:18
本發明公開了一種設有信號反彈模塊的3D-SIC過硅通孔的測試裝置，發送端和接收端之間通過多條過硅通孔TSV相連接；發送端包括第一被測芯片、解碼器、控制單元CU、鎖存器D和雙向開關DSW；接收端包括第二被測芯片和信號反彈模塊；信號反彈模塊包括一個信號發生器F、多個延遲單元M和多個三態門；TSV的上端與接收端的延遲單元M和信號發生器F相連接；TSV的下端與發送端的解碼器和雙向開關DSW相連接；解碼器、鎖存器D和雙向開關DSW均與控制單元CU相連接；鎖存器D還與雙向開關DSW相連接。本發明的3D-SIC過硅通孔的測試裝置，具有可有效地解決在3D芯片制造過程中對失效TSV進行有效檢測困難的問題、面積和實踐開銷較小，功耗較低等優點。
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聲明：
“設有信號反彈模塊的3D-SIC過硅通孔的測試裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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