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多通道顯微鏡半導體綜合測試系統

896   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 09:00:17
本發明提出一種多通道顯微鏡半導體綜合測試系統，是將紅外發光顯微技術（EMMI）、激光束誘導電阻率變化測試技術（OBIRCH）、微探針檢測技術、掃描電子顯微鏡技術（SEM）結合在一起形成一種多通道顯微鏡半導體綜合測試系統。利用OBIRCH方法，可以有效地對電路中缺陷定位，如線條中的空洞、通孔下的空洞、通孔底部高阻區等；也能有效的檢測短路或漏電，是發光顯微技術的有力補充；微探針檢測技術是以微探針快捷方便地獲取IC內部電參數值，如工作點電壓、電流、伏安特性曲線等。本系統可進行多種失效測試技術，減少測試設備，測試步驟少，操作簡單、方便。
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“多通道顯微鏡半導體綜合測試系統” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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