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氧化膜硅基產品磷含量的測試方法

1085   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 09:00:16
本發明提供一種氧化膜硅基產品磷含量的測試方法，包括使用二次質譜儀檢測一級標樣的離子強度，計算出RSF值，利用RSF值計算出二級標樣的磷元素濃度，與已知二級標樣的磷元素濃度對比，在標準范圍內則利用此RSF值計算待測樣片和區熔樣片的磷元素濃度，檢測區熔樣片和待測樣片的離子強度計算出磷元素濃度，用待測樣片的臨時磷元素濃度減去區熔樣片磷元素濃度得到最終待測樣片的磷元素濃度。本發明的有益效果是有效的解決磷含量過高會導致整個產品失效；利用現有檢測技術測試出來的元素濃度存在不確定性，不能去除背景環境對磷元素含量的影響以及不能確定RSF值是否正確的問題。
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聲明：
“氧化膜硅基產品磷含量的測試方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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