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半導體存儲器老化測試設備中老化測試板卡散熱供氣裝置

857   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 09:00:15
本發明公開了一種半導體存儲器老化測試設備中老化測試板卡散熱供氣裝置，包括連通至隔熱腔體的老化測試板卡側接頭組件以及氣源側接頭組件，氣源側接頭組件包括同軸設置的堵頭、壓縮彈簧、氣源密封座及氣管接口，堵頭及壓縮彈簧設置在氣源密封座中，壓縮彈簧受壓設置在堵頭與氣管接口之間，氣源密封座與氣管接口固定連接，老化測試板卡側接頭組件在連接時對堵頭施加與壓縮彈簧相反的力，老化測試板卡側接頭組件與氣源側接頭組件的接觸端面之間設置有第一密封圈。本發明采用老化測試板卡側接頭組件與氣源側接頭組件進行插入配合并用密封圈進行密封，確保隔熱效果；本發明采用壓縮彈簧結構，機構失效率較低，提升整體的結構性能及工作壽命。
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“半導體存儲器老化測試設備中老化測試板卡散熱供氣裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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