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電遷移測試結構、系統、存儲器、制造方法及測試方法

830   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 09:00:14
本申請提供電遷移測試結構、系統、存儲器、制造方法及測試方法，測試結構包括：待測件、第一測試部、第二測試部和第三測試部；其中，待測件包括第一端和第二端，第一端與第一測試部電連接，第二端與第二測試部電連接；第三測試部與待測件電連接，且第三測試部與第一端之間的距離不等于第三測試部與第二端之間的距離；其中，第一端與第三測試部之間的待測件的電阻值能夠通過第一測試部和第三測試部獲得，第二端與第三測試部之間的待測件的電阻值能夠通過第二測試部和第三測試部獲得。通過電遷移測試結構的第一測試部和第三測試部，以及第二測試部和第三測試部獲得的電阻值，計算得到待測件的實際橫截面積，并計算得到待測件的實際失效時間。
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聲明：
“電遷移測試結構、系統、存儲器、制造方法及測試方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
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