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測試樣品的制備方法及測試樣品

751   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 09:00:14
本公開實施例公開了一種測試樣品的制備方法。所述方法包括：提供包括失效區域的待處理結構；其中，所述待處理結構包括：多級臺階，覆蓋所述臺階的介質層、位于所述臺階表面上方且設置于所述介質層中的接觸插塞、以及貫穿所述臺階的虛擬溝道柱；沿相交于所述多級臺階所在斜面的預設方向，朝向所述臺階減薄所述待處理結構，以形成預處理樣品；其中，所述預處理樣品包括所述失效區域；沿所述預設方向，所述預處理樣品表面殘留的所述接觸插塞的厚度大于或等于第一預設厚度；去除所述預處理樣品表面殘留的所述介質層，以顯露所述虛擬溝道柱，形成所述測試樣品。
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聲明：
“測試樣品的制備方法及測試樣品” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
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失效分析
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