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GOI測試電路結構

838   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 09:00:14
本發明提供一種GOI測試電路結構，包括形成于一襯底內的多個呈條狀且平行設置的AA區，相鄰的AA區之間形成有STI，襯底上依次形成有柵氧化層、多晶硅柵極和多個計數結構，所有計數結構平行設置，每個計數結構對應設置在一個STI上方，每個計數結構靠近一個AA區設置，并用于對AA區中的熱點進行定位，可以實現電性測試熱點的清晰定位，并為物理剝層以及FIB切截面制備TEM樣品時提供熱點定位的標準，大大改善了GOI測試失效分析的效率，切中目標位置截面的成功率，還在制程上可實現性強，具有很高的實用價值。
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聲明：
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