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電介質擊穿測試結構

768   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 09:00:13
本發明提供一種電介質擊穿測試結構，本發明通過在待測試電容結構的漏電流的變化來導通旁路電路，并通過旁路電路的導通來斷開整個電路，以避免待測試電容結構的薄弱點在測試過程中發生硬擊穿而燒毀，同時待測試電容結構的薄弱點位置可以產生一定的漏電流，使得所述待測試電容結構在測試過程中可以進一步的進行失效分析，從而使得待測試電容結構的缺陷可以被發現，并作出針對性的改善。
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聲明：
“電介質擊穿測試結構” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
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失效分析
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